Рембеза С.И., Рембеза Е.С. Введение в микроэлектронику и наноэлектронику

Учебное пособие. — Воронеж: ВГТУ, 2017. — 143 с.В учебном пособии рассмотрены основные термины и определения микроэлектроники, дана классификация полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, рассмотрены вопросы технологии их изготовления.
Издание соответствует требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования по направлению подготовки бакалавров 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (направленность «Микроэлектроника и твердотельная электроника»), дисциплине «Введение в наноэлектронику».